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Performance Optimization of Atomic Layer Deposited HfOx Memristor by Annealing With Back-End-of-Line Compatibility
后端兼容退火优化原子层沉积HfOx忆阻器的性能
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期刊:IEEE Electron Device Letters 作者:Hong Chen; Lianzheng Li; Jinbin Wang; Guangchao Zhao; Ying Li; et al 出版日期:2022-07-01 |
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