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Catalyst-Free Growth of Two-Dimensional BCxN Materials on Dielectrics by Temperature-Dependent Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition
温度相关等离子体增强化学气相沉积在介质上无催化剂生长二维BCxN材料
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材料科学
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期刊:ACS Applied Materials & Interfaces 作者:Kongyang Yi; Zhepeng Jin; Saiyu Bu; Dingguan Wang; Donghua Liu; et al 出版日期:2020-06-23 |
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