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 Demonstration of Integrated AlScN Photonic Devices on 8-inch Silicon Substrate 8英寸硅衬底上集成AlScN光子器件的演示
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期刊：Journal of Lightwave Technology 作者：Zhenyu Li; Kewei Bian; Xinyi Chen; Xingyan Zhao; Yang Qiu; et al 出版日期：2024-01-01 |
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