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[高分] Effect of c-axis tilted orientation ZnO thin film on shear-mode bulk acoustic resonator in liquid environment
液体环境中c轴倾斜取向的ZnO薄膜对剪切模式体声谐振器的影响
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期刊:Materials Express 作者:Ping Sun; Yurun Chen; Tingting Tang; Jian Shen; Xu Liu; et al 出版日期:2020-09-30 |
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