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 Development of Highly Sensitive Ethane Gas Sensor Based on 3D WO3 Nanocone Structure Integrated with Low‐Powered In‐Plane Microheater and Temperature Sensor 基于三维WO3纳米锥结构集成低功耗面内微加热器和温度传感器的高灵敏度乙烷气体传感器的研制
相关领域
微型加热器
材料科学
制作
平面的
光电子学
响应度
薄膜
溅射
纳米技术
纳米结构
光电探测器
计算机科学
医学
计算机图形学（图像）
病理
替代医学
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| 其它 |
期刊：Advanced Materials Technologies 作者：Md Ridwan Adib; Vijay V. Kondalkar; Keekeun Lee 出版日期：2020-03-17 |
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