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Modular injector integrated linear apparatus with motion profile optimization for spatial atomic layer deposition
基于运动轮廓优化的模块化注入器集成线性装置在空间原子层沉积中的应用
相关领域
直线运动 材料科学 喷油器 同质性（统计学） 加速度 振动 计算机科学 沉积（地质） 机械 光学 物理 声学 机械工程 工程类 经典力学 直线电机 生物 机器学习 古生物学 沉积物
网址
https://doi.org/10.1063/1.4991048
AI链接 nih.govdoi.org
DOI
10.1063/1.4991048 doi
其它 期刊：Review of Scientific Instruments
作者：Xiaolei Wang; Yun Li; Jilong Lin; Bin Shan; Rong Chen
出版日期：2017-11-01
求助人
油油1123 在 2025-02-05 17:46:59 发布自湖北，悬赏 10 积分
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