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 Design and simulation of a novel MPCVD reactor with three-cylinder cavity 新型三缸腔MPCVD反应器的设计与仿真
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期刊：Vacuum 作者：Yizhuo Zhang; Shengwang Yu; Jie Gao; Yong Ma; Zhiyong He; et al 出版日期：2022-03-31 |
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