EUV-induced activation mechanism of photoacid generators: key factors affecting EUV sensitivity

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标题	EUV-induced activation mechanism of photoacid generators: key factors affecting EUV sensitivity 光产酸剂的EUV诱导活化机制：影响EUV灵敏度的关键因素相关领域质子化极紫外光刻化学光刻胶轨道能级差离解（化学）分子光化学离子材料科学物理化学纳米技术有机化学图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.2652345
DOI	10.1117/12.2652345 doi
其它	期刊：作者：Ji Young Park; Thanh-Cuong Nguyen; Deakeon Kim; Hyun‐Ji Song; Suk Koo Hong; et al 出版日期：2023-05-01
求助人	雪糕在 2024-12-12 20:12:32 发布自上海，悬赏 20 积分
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