Effect of film growth thickness on the refractive index and crystallization of HfO2 film

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标题	Effect of film growth thickness on the refractive index and crystallization of HfO2 film 薄膜生长厚度对HfO2薄膜折射率和结晶度的影响相关领域材料科学折射率微晶微观结构结晶度椭圆偏振法结晶无定形固体薄膜电子束物理气相沉积光学扫描电子显微镜粒度分析化学（期刊）复合材料结晶学光电子学纳米技术化学工程冶金物理工程类化学色谱法
网址	https://doi.org/10.1016/j.ceramint.2021.08.286
DOI	10.1016/j.ceramint.2021.08.286 doi
其它	期刊：Ceramics International 作者：Jianping Hu; Jian Wang; Yaowei Wei; Qian Wu; Fei Zhang; et al 出版日期：2021-12-01
求助人	沈家宁在 2025-02-14 02:01:01 发布自福建，悬赏 10 积分
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