Aluminum nitride photonic integrated circuits: from piezo-optomechanics to nonlinear optics

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标题	Aluminum nitride photonic integrated circuits: from piezo-optomechanics to nonlinear optics 氮化铝光子集成电路：从压电光学到非线性光学相关领域光力学纳米光子学光子学光子集成电路光电子学材料科学氮化硅氮化物硅谐振器纳米技术图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1364/aop.479017
DOI	10.1364/aop.479017 doi
其它	期刊：Advances in Optics and Photonics 作者：Xianwen Liu; Alexander W. Bruch; Hong X. Tang 出版日期：2023-02-08
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