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Multiple epitaxial lateral overgrowth of GaN thin films using a patterned graphene mask by metal organic chemical vapor deposition
通过金属有机化学气相沉积使用图案化石墨烯掩模的GaN薄膜的多重外延横向过度生长
相关领域
材料科学
纤锌矿晶体结构
化学气相沉积
外延
氮化镓
结晶度
光电子学
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金属有机气相外延
氮化铟
薄膜
铟镓氮化物
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期刊:Journal of Applied Crystallography 作者:Jun Yeob Lee; Jung‐Hong Min; Si‐Young Bae; Mun‐Do Park; Woo‐Lim Jeong; et al 出版日期:2020-11-17 |
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