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Validity of 2-D Axisymmetric Simplification in Modeling Microwave Discharges in Waveguide-Based Plasma Sources
二维轴对称简化在模拟波导等离子体源微波放电中的有效性
相关领域
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期刊:IEEE Transactions on Plasma Science 作者:Wencong Zhang; Yang Yong; Renyu Peng; Dongxue Han; Li Wu; et al 出版日期:2024-01-01 |
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