Probing Selective Deposition of Aluminum Using in Situ Infrared Spectroscopy

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标题	Probing Selective Deposition of Aluminum Using in Situ Infrared Spectroscopy 用原位红外光谱探测铝的选择性沉积相关领域材料科学原位沉积（地质）铝红外线的红外光谱学化学工程纳米技术冶金光学有机化学物理沉积物古生物学化学生物工程类
网址	https://doi.org/10.1557/proc-334-273
DOI	10.1557/proc-334-273 doi
其它	期刊：MRS Proceedings 作者：Wayne L. Gladfelter; Michael G. Simmonds; Larry Zazzera; John F. Evans 出版日期：1993-01-01
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