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 Influence of oxygen-rich and zinc-rich conditions on donor and acceptor states and conductivity mechanism of ZnO films grown by ALD—Experimental studies 富氧、富锌条件对ALD生长ZnO薄膜施主、受主态及导电机理的影响——实验研究
相关领域
接受者
电阻率和电导率
退火（玻璃）
材料科学
微晶
锌
原子层沉积
带隙
晶体缺陷
杂质
氧气
氢
宽禁带半导体
电导率
散射
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期刊：Journal of Applied Physics 作者：E. Przeździecka; E. Guziewicz; Dawid Jarosz; D. Snigurenko; Adrian Sulich; et al 出版日期：2020-02-19 |
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