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A Modified Equation for Thickness of the Film Fabricated by Spin Coating
旋涂膜厚度的修正方程
相关领域
旋涂
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材料科学
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期刊:Symmetry 作者:Un Gi Lee; Woo‐Byoung Kim; Do Hyung Han; Hyun Soo Chung 出版日期:2019-09-18 |
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