Ferroelectric Switching in Sub-20 nm Aluminum Scandium Nitride Thin Films

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标题	Ferroelectric Switching in Sub-20 nm Aluminum Scandium Nitride Thin Films 亚20nm氮化钪铝薄膜中的铁电开关相关领域铁电性物理光电子学电介质
网址	https://doi.org/10.1109/led.2020.3034576
DOI	10.1109/led.2020.3034576 doi
其它	期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Dixiong Wang; Jeffrey Zheng; Pariasadat Musavigharavi; Wanlin Zhu; Alexandre C. Foucher; et al 出版日期：2020-10-28
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