| 标题 |
 Detailed study of the composition of hydrogenated SiNx layers for high-quality silicon surface passivation 用于高质量硅表面钝化的氢化SiNx层成分的详细研究
相关领域
钝化
悬空债券
材料科学
等离子体增强化学气相沉积
硅
薄脆饼
化学气相沉积
载流子寿命
沉积（地质）
分析化学（期刊）
远程等离子体
光电子学
纳米技术
化学
图层（电子）
有机化学
古生物学
生物
沉积物
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：Journal of Applied Physics 作者：Helmut Mäckel; R. Lüdemann 出版日期：2002-09-01 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
杳鸢
寻道图强
maox1aoxin
liu
春夏爱科研
ppg123
模糊中正
shinysparrow
silencegreen5
Lik
傲娇的凡旋
深情安青
小二郎
双黄
111890
祖诗云
科目三
Owen
完美世界
Azhou
皖公网安备34019202002308
