标题 |
Structural evolution of Zr-Cu-Ni-Al-N thin film metallic glass and its diffusion barrier performance in Cu-Si interconnect at elevated temperature
高温下Zr-Cu-Ni-Al-N薄膜金属玻璃的结构演变及其在Cu-Si互连中的扩散势垒性能
相关领域
金属间化合物
扩散阻挡层
退火(玻璃)
微观结构
材料科学
薄膜
非晶态金属
铜
扩散
冶金
复合材料
图层(电子)
合金
纳米技术
热力学
物理
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Vacuum 作者:Joseph Lee; Jenq‐Gong Duh 出版日期:2017-05-08 |
求助人 | |
下载 | 暂无链接,等待应助者上传 |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|