Research on the Magnetron Sputtering Performance of Active Matrix Liquid Crystal Display Electronic Materials Based on Amorphous Oxide Thin Film Transistors

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标题	Research on the Magnetron Sputtering Performance of Active Matrix Liquid Crystal Display Electronic Materials Based on Amorphous Oxide Thin Film Transistors 基于非晶氧化物薄膜晶体管的有源矩阵液晶显示电子材料磁控溅射性能研究相关领域材料科学薄膜晶体管薄膜无定形固体溅射溅射沉积光电子学氧化物有源矩阵非晶硅
网址	https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/kem.871.271
DOI	10.4028/www.scientific.net/kem.871.271 doi
其它	期刊：Key Engineering Materials 作者：Lin Sha; Qi Fei Du; Li Ping Tu 出版日期：2021-01-01
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