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Study of the 6.x nm short wavelength radiation spectra of laser-produced erbium plasmas for BEUV lithography
BEUV光刻用激光产生的铒等离子体6.x nm短波辐射光谱的研究
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网址
https://doi.org/10.1088/2058-6272/acafc1
DOI
10.1088/2058-6272/acafc1 doi
其它 期刊：Plasma Science and Technology
作者：Tao Wu; Qian Wang; Liuan CHEN; Peixiang Lu
出版日期：2023-01-03
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wdy 在 2024-11-05 17:50:59 发布自湖北，悬赏 10 积分
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