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 Room Temperature Wafer Bonding of Glass Using Aluminum Oxide Intermediate Layer 用氧化铝中间层实现玻璃的室温晶片键合
相关领域
材料科学
阳极连接
无定形固体
氧化物
图层（电子）
晶片键合
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制作
铝
薄脆饼
化学键
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光电子学
冶金
化学工程
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医学
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