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 Resolving the Heat of Trimethylaluminum and Water Atomic Layer Deposition Half-Reactions 三甲基铝与水原子层沉积半反应热的解析
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期刊：Journal of the American Chemical Society 作者：Ashley R. Bielinski; Ethan P. Kamphaus; Lei Cheng; Alex B. F. Martinson 出版日期：2022-08-09 |
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