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2D MEMS vector scanning mirrors for LIDAR, medical imaging, and high laser power applications
用于激光雷达、医学成像和高激光功率应用的2D MEMS矢量扫描镜
相关领域
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期刊: 作者:Thilo Sandner; Benjamin Mustin; Klemens Birnbaum; Martin Blasl; Thomas Graßhoff; et al 出版日期:2023-03-15 |
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