Impact of Plasma Treatment on Reliability Performance for HfZrOx-Based Metal-Ferroelectric-Metal Capacitors

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标题	Impact of Plasma Treatment on Reliability Performance for HfZrOx-Based Metal-Ferroelectric-Metal Capacitors 等离子体处理对HfZrOx基金属-铁电-金属电容器可靠性性能的影响相关领域锡电容器铁电性金属等离子体可靠性（半导体）材料科学分析化学（期刊）化学光电子学物理电气工程电介质有机化学工程类冶金电压功率（物理）量子力学
网址	https://doi.org/10.1109/led.2017.2771390
DOI	10.1109/led.2017.2771390 doi
其它	期刊：IEEE Electron Device Letters 作者：Kuen-Yi Chen; Pin‐Hsuan Chen; Ruei-Wen Kao; Yan-Xiao Lin; Yung‐Hsien Wu 出版日期：2017-11-08
求助人	沈家宁在 2025-03-10 20:58:13 发布自福建，悬赏 10 积分
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