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 The in-situ parasitic microstructure interface and defect formation mechanism in (010) β-Ga2O3 epitaxial film via MOCVD MOCVD（010）β-Ga2O3外延薄膜的原位寄生微结构界面及缺陷形成机制
相关领域
材料科学
金属有机气相外延
外延
微观结构
接口（物质）
原位
机制（生物学）
光电子学
纳米技术
冶金
复合材料
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哲学
物理
认识论
毛细管数
毛细管作用
气象学
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期刊：Science China. Materials 作者：Xianqiang Song; Yunlong He; Zhan Wang; Xiaoli Lu; Jing Zhi Sun; et al 出版日期：2025-01-02 |
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