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标题
Low-temperature Cu–Cu direct bonding enabled by a new method of plasma activation
等离子体活化新方法实现低温Cu-Cu直接键合
相关领域
材料科学 等离子体 铜 化学工程 纳米技术 冶金 量子力学 物理 工程类
网址
https://doi.org/10.1116/6.0004755
DOI
10.1116/6.0004755 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science and technology
作者：Hideki Shimizu; Hiroshi Nishikawa; Koji Hashimoto
出版日期：2025-08-07
求助人
虚拟的水壶 在 2025-12-18 08:53:13 发布自湖北，悬赏 10 积分
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  • 6个月前，求助关闭

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  • 6个月前

    虚拟的水壶 虚拟的水壶 Lv5 求助人 驳回了 情怀 上传的文件

    说明
    下的文件实际上是Phys. Fluids 36, 111302 (2024); doi: 10.1063/5.0238690。跟需求不相符

  • 6个月前

    情怀 情怀 Lv11 上传了文件

    已驳回 111302_1_5.0238690.pdf (5.28 MB)
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  • 6个月前

    虚拟的水壶 虚拟的水壶 Lv5 求助人 发起了本次求助

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