A Curved-Beam Bistable Mechanism

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标题	A Curved-Beam Bistable Mechanism 曲梁双稳态机构相关领域双稳态微尺度化学有限元法深反应离子刻蚀梁（结构）机制（生物学）材料科学结构工程机械光学物理蚀刻（微加工）工程类反应离子刻蚀纳米技术光电子学数学图层（电子）数学教育量子力学
网址	https://doi.org/10.1109/jmems.2004.825308
DOI	10.1109/jmems.2004.825308 doi
其它	期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：J. Qiu; J.H. Lang; Alex Slocum 出版日期：2004-04-01
求助人	潇洒的剑愁在 2025-04-03 14:48:15 发布自江苏，悬赏 10 积分
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