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标题
An acoustic pressure-gradient MEMS vector hydrophone system based on piezoelectric micromachined ultrasonic transducer array
基于压电微机械超声换能器阵列的声压梯度MEMS矢量水听器系统
相关领域
水听器 声学 微电子机械系统 压电 传感器 超声波传感器 PMUT公司 材料科学 声压 压力传感器 工程类 物理 光电子学 机械工程
网址
https://doi.org/10.1016/j.mejo.2024.106332
DOI
10.1016/j.mejo.2024.106332 doi
其它 期刊：Microelectronics Journal
作者：Xiangyang Wang; Chongbin Liu; Guoqiang Wu
出版日期：2024-07-09
求助人
尖尖 在 2025-04-02 14:21:59 发布，悬赏 10 积分
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