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[高分] 专利、报告等 SEMI F57 - Specification for High Purity Polymer Materials and Components Used in Ultrapure Water and Liquid Chemical Distribution Systems
SEMI F57-超纯水和液体化学品分配系统中使用的高纯度聚合物材料和部件规范
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标准号SEMI F57-0708 SEMI F57 - 用于超纯水和液体化学品分配系统的高纯度聚合物材料和组件规范 学校或者机构里买了国际半导体协会标准的资料的应该是有的（清华和中芯国际是有的）求有资源的大佬帮帮忙 |
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