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标题
Flexure-based dynamic-tunable five-axis nanopositioner for parallel nanomanufacturing
用于并行纳米制造的基于弯曲的动态可调五轴纳米定位器
相关领域
纳米制造 吞吐量 材料科学 栅栏 纳米光刻 计算机科学 基面 纳米技术 过程（计算） 航程（航空） 纳米 光电子学 制作 物理 复合材料 操作系统 病理 电信 医学 替代医学 无线 凝聚态物理
网址
https://doi.org/10.1016/j.precisioneng.2016.04.002
DOI
10.1016/j.precisioneng.2016.04.002 doi
其它 期刊：Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
作者：Chenglin Li; Ji Wang; Shih‐Chi Chen
出版日期：2016-04-04
求助人
华东小可爱 在 2025-04-13 15:54:48 发布自山东，悬赏 10 积分
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