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 Role of Fluoride Doping in Low-Temperature Combustion-Synthesized ZrOx Dielectric Films 氟掺杂在低温燃烧合成ZrOx介质膜中的作用
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期刊：ACS Applied Materials & Interfaces 作者：Aritra Sil; Elise A. Goldfine; Wei Huang; Michael J. Bedzyk; Julia E. Medvedeva; et al 出版日期：2022-03-02 |
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