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Effects of C4F8 plasma polymerization film on etching profiles in the Bosch process
Bosch工艺中C4F8等离子聚合膜对刻蚀轮廓的影响
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网址
https://doi.org/10.1116/5.0158954
DOI
10.1116/5.0158954 doi
其它 期刊：Journal of vacuum science & technology
作者：Tomoyuki Nonaka; Kazuo Takahashi; Akimi Uchida; Stefan Lundgaard; Osamu Tsuji
出版日期：2023-10-02
求助人
调研昵称 在 2025-01-07 14:01:57 发布自北京，悬赏 10 积分
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