Study of Columnar Growth Polycrystalline (Sn, Cr) co-doped In2O3 films deposited by sputtering technique for potential gas sensors applications

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标题	Study of Columnar Growth Polycrystalline (Sn, Cr) co-doped In2O3 films deposited by sputtering technique for potential gas sensors applications 用于电位气敏传感器的柱状生长（Sn，Cr）共掺杂In2O3薄膜的研究相关领域微晶结晶度溅射材料科学分析化学（期刊）扫描电子显微镜兴奋剂退火（玻璃）杂质带隙薄膜溅射沉积纳米技术复合材料光电子学冶金化学色谱法有机化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2018.08.032
DOI	10.1016/j.vacuum.2018.08.032 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：A.F. Carlos-Chilo; L.G. Luza-Mamani; A. Alcántara; F.F.H. Aragón; Corina Vera-Gonzáles; et al 出版日期：2018-08-17
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