Modeling and Simulation Design of Single Crystal Silicon Growth by Czochralski Method

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标题	Modeling and Simulation Design of Single Crystal Silicon Growth by Czochralski Method 直拉法单晶硅生长的建模与仿真设计相关领域硅直拉法材料科学计算机科学光电子学电子工程结晶学工程类化学
网址	https://doi.org/10.1109/icmtim62047.2024.10629296
DOI	10.1109/icmtim62047.2024.10629296 doi
其它	期刊：作者：Ruidong Xie; Wenle Ma; Zheqi Zhang; Pei Zhu; Yingmin Yi 出版日期：2024-04-26
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