Aluminum Oxide Deposited by Pulsed-DC Reactive Sputtering for Crystalline Silicon Surface Passivation

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标题	Aluminum Oxide Deposited by Pulsed-DC Reactive Sputtering for Crystalline Silicon Surface Passivation 脉冲直流反应溅射沉积氧化铝用于晶体硅表面钝化相关领域钝化硅退火（玻璃）材料科学分析化学（期刊）物理纳米技术化学光电子学有机化学图层（电子）复合材料
网址	https://doi.org/10.1109/jphotov.2013.2251057
DOI	10.1109/jphotov.2013.2251057 doi
其它	期刊：IEEE Journal of Photovoltaics 作者：Meenakshi Bhaisare; Abhishek Misra; Anil Kottantharayil 出版日期：2013-04-02
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