Prospective Wavelengths for Projection Lithography Using Synchrotron Radiation

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标题	Prospective Wavelengths for Projection Lithography Using Synchrotron Radiation 同步辐射投影光刻的预期波长相关领域同步辐射平版印刷术材料科学光学波长极紫外光刻投影（关系代数）同步加速器 X射线光刻抵抗光电子学物理纳米技术计算机科学算法图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1134/s1063784224030058
DOI	10.1134/s1063784224030058 doi
其它	期刊：Technical Physics 作者：Н. И. Чхало; В. Н. Полковников; Н. Н. Салащенко; Roman Shaposhnikov 出版日期：2024-04-01
求助人	chaohuiwang 在 2025-01-02 09:12:59 发布自吉林，悬赏 10 积分
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