Science-based, data-driven developments in plasma processing for material synthesis and device-integration technologies

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标题	Science-based, data-driven developments in plasma processing for material synthesis and device-integration technologies 基于科学、数据驱动的材料合成和器件集成技术等离子体处理的发展相关领域等离子体处理等离子体纳米技术信息学材料加工计算机科学数据科学系统工程材料科学工程物理工程类工艺工程物理电气工程量子力学
网址	https://doi.org/10.35848/1347-4065/ac9189
DOI	10.35848/1347-4065/ac9189 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Makoto Kambara; Satoru Kawaguchi; Hae June Lee; Kazumasa Ikuse; Satoshi Hamaguchi; et al 出版日期：2022-09-13
求助人	StevenZhao 在 2024-11-12 16:49:15 发布自湖北，悬赏 10 积分
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