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 Study on preparation and characteristics of Fe- and Mn-doped AlN thin films Fe、Mn掺杂AlN薄膜的制备及性能研究
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期刊：Acta Physica Sinica 作者：Leilei Lan; Xinyu Hu; Guang-Rui Gu; Lina Jiang; Baojia Wu 出版日期：2013-01-01 |
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