AlN-on-SOI platform-based micro-machined hydrophone

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标题	AlN-on-SOI platform-based micro-machined hydrophone 基于AlN-on-SOI平台的微加工水听器相关领域水听器材料科学绝缘体上的硅灵敏度（控制系统）压电声学噪音（视频）带宽（计算）光电子学电子工程硅电信物理工程类计算机科学复合材料人工智能图像（数学）
网址	https://doi.org/10.1063/1.4959078
DOI	10.1063/1.4959078 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Jinghui Xu; Xiaolin Zhang; Saman Fernando; Kevin Tshun Chuan Chai; Yuandong Gu 出版日期：2016-07-18
求助人	乐正鑫在 2024-12-24 21:51:59 发布自波黑，悬赏 10 积分
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