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Numerical Simulation Analysis of Microstructure of Dielectric Layers in Capacitive Pressure Sensors
电容式压力传感器介质层微观结构的数值模拟分析
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期刊:IEEE Sensors Journal 作者:Wei Zhang; Weihao Sun; Wenling Xiao; Xuyan Zhong; Chengwei Wu; et al 出版日期:2019-05-01 |
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