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标题
Enabling nanoimprint simulator for quality verification: process-design co-optimization toward high-volume manufacturing
用于质量验证的纳米压印模拟器：面向大批量生产的工艺设计协同优化
相关领域
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AI识别 10.1117/1.jmm.21.1.011005 doi
其它 Makoto Ogusu,
Masaki Ishida,
Masahiro Tamura,
Keita Sakai,
Toshiki Ito,
Yuto Ito,
Isao Kawata,
Hdeki Kunugi,
Shuhei Tamura,
Ryuichi Asano,
Keisuke Tanaka,
Tomohito Yamaji
求助人
研友_ngkEgn 在 2024-02-27 20:56:16 发布自江苏，悬赏 30 积分
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