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标题
Atomic layer deposition of TbF3 thin films
TbF3薄膜的原子层沉积
相关领域
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网址
DOI
10.1116/6.0000790 doi
其它 期刊:Journal of vacuum science & technology
作者:Elisa Atosuo; J. Ojala; Mikko Heikkilä; Miika Mattinen; Kenichiro Mizohata; et al
出版日期:2021-02-02
求助人
雷老板 在 2024-01-25 09:43:13 发布自上海,悬赏 10 积分
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