标题 |
Atomic layer deposition of TbF3 thin films
TbF3薄膜的原子层沉积
相关领域
原子层沉积
弹性后坐力检测
铽
镧系元素
薄膜
材料科学
正交晶系
杂质
分析化学(期刊)
沉积(地质)
图层(电子)
原子层外延
钛
透射率
氟化物
无机化学
发光
纳米技术
结晶学
化学
晶体结构
离子
光电子学
冶金
有机化学
古生物学
生物
沉积物
|
网址 | |
DOI | |
其它 |
期刊:Journal of vacuum science & technology 作者:Elisa Atosuo; J. Ojala; Mikko Heikkilä; Miika Mattinen; Kenichiro Mizohata; et al 出版日期:2021-02-02 |
求助人 | |
下载 | |
温馨提示:该文献已被科研通 学术中心 收录,前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库,收集文献的基本信息(如标题、摘要、期刊、作者、被引量等),不提供下载功能。如需下载文献全文,请通过文献求助获取。
|