标题 |
A novel mechanical diced trench structure for warpage reduction in wafer level packaging process
一种用于减少晶圆级封装翘曲的新型机械切割沟槽结构
相关领域
晶片切割
薄脆饼
沟槽
材料科学
模具(集成电路)
模具准备
晶圆回磨
基质(水族馆)
复合材料
可靠性(半导体)
晶圆级封装
晶片键合
光电子学
纳米技术
地质学
物理
功率(物理)
海洋学
量子力学
图层(电子)
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网址 | |
DOI |
10.1016/j.microrel.2014.11.006
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其它 |
期刊:Microelectronics Reliability 作者:Chunsheng Zhu; Heng Li; Gaowei Xu; Luo Li 出版日期:2015-02-01 |
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