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 Effect and mechanism analysis of sarcosine on the chemical mechanical polishing performance of copper film for GLSI 肌氨酸对GLSI用铜膜化学机械抛光性能的影响及机理分析
相关领域
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期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Yinchan Zhang; Xinhuan Niu; Jiakai Zhou; Jianchao Wang; Yebo Zhu; et al 出版日期：2022-11-01 |
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