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[高分] 书籍 Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies
硅基MEMS材料与技术手册
相关领域
微电子机械系统
表面微加工
机械工程
材料科学
晶片键合
阳极连接
制造工程
工程物理
直接结合
微系统
薄脆饼
工程类
纳米技术
制作
医学
替代医学
病理
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网址 | |
DOI |
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10.1016/c2013-0-19270-7
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求助人 | |
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