Epitaxial growth of Cu on Si by magnetron sputtering

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标题	Epitaxial growth of Cu on Si by magnetron sputtering 磁控溅射在Si上外延生长Cu 相关领域外延材料科学溅射沉积结晶学电子衍射超晶格极点图透射电子显微镜硅衍射分析化学（期刊）溅射光电子学薄膜光学纳米技术化学图层（电子）物理色谱法
网址	https://doi.org/10.1116/1.581489
DOI	10.1116/1.581489 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology. A. Vacuum, surfaces, and films 作者：Huaming Jiang; T. J. Klemmer; J. A. Barnard; E. Andrew Payzant 出版日期：1998-11-01
求助人	zzz 在 2024-05-29 17:41:58 发布自四川，悬赏 10 积分
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