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Temperature dependent Young's modulus and quality factor of CMOS-MEMS resonator: Modelling and experimental approach
CMOS-MEMS谐振器的温度相关杨氏模量和品质因数:建模和实验方法
相关领域
谐振器
CMOS芯片
Q系数
微电子机械系统
材料科学
共振(粒子物理)
质量(理念)
光电子学
振动
模数
杨氏模量
声学
电气工程
电子工程
工程类
物理
复合材料
粒子物理学
量子力学
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期刊:Microelectronics Reliability 作者:Mohammad Tariq Jan; Farooq Ahmad; Nor Hisham Hamid; Mohd Haris Md Khir; Khalid Ashraf; et al 出版日期:2016-02-01 |
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