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 Exploration of photocatalytic chlorination combined simplified distillation to produce electronic grade high-purity trichlorosilane via microchannel reactor experiments, multiphase-flow simulation, ReaxFF MD, and DFT 通过微通道反应器实验、多相流模拟、ReaxFF MD和DFT探索光催化氯化联合简化蒸馏生产电子级高纯三氯氢硅
相关领域
三氯氢硅
微通道
光催化
材料科学
微型反应器
蒸馏
化学工程
化学
分析化学（期刊）
有机化学
催化作用
纳米技术
光电子学
硅
工程类
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| 其它 |
期刊：Chemical Engineering Journal 作者：Ye Wan; Jianhua Liu; Qiuyun Mao; Xin Chang; Ying Song; et al 出版日期：2022-12-01 |
| 求助人 | |
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