Research on the mitigation of redeposition defects on the fused silica surface during wet etching process

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标题	Research on the mitigation of redeposition defects on the fused silica surface during wet etching process 湿法刻蚀过程中熔融石英表面再沉积缺陷的缓解研究相关领域材料科学蚀刻（微加工）通量激光器光学氢氟酸抛光各向同性腐蚀降水光电子学纳米技术复合材料冶金图层（电子）气象学物理
网址	https://doi.org/10.1364/oe.514371
DOI	10.1364/oe.514371 doi
其它	期刊：Optics express 作者：Changpeng Li; Ke Yang; Zhuo Zhang; Yingyi Qian; Taixiang Liu; et al 出版日期：2024-02-08
求助人	康子的爹在 2024-06-19 13:47:22 发布自江苏，悬赏 10 积分
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