Line edge roughness reduction for 7nm metals

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标题	Line edge roughness reduction for 7nm metals 7nm金属的线边缘粗糙度降低相关领域抵抗材料科学多重图案临界尺寸平版印刷术心轴光电子学光刻胶 GSM演进的增强数据速率表面粗糙度航空影像表面光洁度电介质纳米技术电子工程光学计算机科学复合材料工程类图层（电子）物理电信图像（数学）人工智能
网址	https://doi.org/10.1117/12.2297424
DOI	10.1117/12.2297424 doi
其它	期刊：作者：Zheng Chen; Steven McDermott; Bradley Morgenfeld; Christopher Ordonio; Ao Chen; et al 出版日期：2018-03-20
求助人	愉快盼旋在 2024-07-15 18:51:18 发布自辽宁，悬赏 40 积分
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